CLS-5000准分子激光器

CLS-5000准分子激光器

CLS-5000是一个小型的193纳米准分子激光器。它也有248纳米和308纳米波长等的不同配置。由于其有定位和指向等额外的功能使它具有非常好的光束稳定性，这使得CLS-5000在应对许多不同的应用程序的时候表现出色。 这种短波长激光器具有高重复率，这对于使用光掩模材料烧蚀工艺光学投影光刻是非常重要的。磁开关发生器和内置能源显示器使Optromix CLS-5000非常方便使用者。

主要特性:

• 非常高的光束位置稳定性
• 非常高的光束指向稳定性
• 高重复率
• 磁开关发生器
• 小型准分子激光器
• 内置能源显示器
• 能源稳定

应用范围：

• 光谱
• 制造衍射结构的光纤
• 材料处理
• 微打标
• 深紫外光光刻技术