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PC3涂层材料

PC3涂层材料

PC3涂层材料

品牌:Futurrex

C3涂层材料
涂层材料
PC3-700
PC3-1500
PC3-6000
厚度
0.6µm - 1.6µm
1.1µm - 3.2µm
5.0µm - 12.2µm

 

  • 应用
    • 平坦化涂层
      • 作为电介质用于凹蚀制程的平坦化
    • 机械保护涂层材料
      • 在切割制程中用于关键部件的保护
    • 临时的粘结层
      • 作为临时的粘结材料用于后道的研磨及背面处理,且容易去除
  • 特性
    • 极好的平坦化性能
    • 适用于光刻胶涂布机
  • 对生产率的影响
      • 在一些方面省去了化学机械抛光
      • 抑制凹蚀制程中的微型加载效应
      • 消除了切割制程中薄膜的剥离和破裂
      • 晶圆研磨和切割后易于在RD3 和RD6显影液中去除

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