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旋涂玻璃:SOG

   玻璃旋涂材料

       旋涂玻璃SOG的应用是在多层金属加工中作为介电质一部分的平滑层和保护层,在三层光胶加工中的中间层。性质是固化之后设备可应用的膜硬度、厚度范围是在0.15 ~ 0.55 μm、对生产的作用是在一些应用中省去化学气相沉积(CVD)二氧化硅、在多层金属加工处理中省去费时的填充狭窄沟槽的SiO2沉积和凹蚀、在为薄膜磁性头制作的基板制备中省去抛光。

玻璃旋涂材料

      旋涂玻璃SOG的应用是在多层金属加工中作为介电质一部分的平滑层和保护层,在三层光胶加工中的中间层。性质是固化之后设备可应用的膜硬度、厚度范围是在0.15 ~ 0.55 μm、对生产的作用是在一些应用中省去化学气相沉积(CVD)二氧化硅、在多层金属加工处理中省去费时的填充狭窄沟槽的SiO2沉积和凹蚀、在为薄膜磁性头制作的基板制备中省去抛光。

旋涂玻璃:SOG

玻璃旋涂材料

涂层材料
IC1-200
DC4-500

厚度
0.17µm - 0.50µm
0.45µm - 1.0µm

应用

 

  • 平整的涂层可以作为多级金属工艺中的电介质部分
  • 保护用涂层材料
  • 作为三层光刻胶工艺中的间隔材料

 

 

特性

 

  • 可适用于旋涂工艺
  • 常温下保存3年
  • 与聚合物有很好的黏附性
  • 在温度低于100度(℃)时难溶于共有溶剂
  • 适用于有代表性的光刻胶涂布设备,不需要SOG涂布机

 

对生产率的影响

  • 在一些应用中可省去CVD制程中的SiO2
  • 在多级金属制程中省去SiO2蚀刻后的填充时间
  • 在薄膜磁头制程中省去衬底的抛光

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