旋涂掺杂材料
旋涂掺杂材料/旋涂掺杂涂层
旋涂掺杂涂层应用是在旋涂硼、旋涂磷、旋涂锌；其性质是透明薄膜通过O2 Plasma转化为固态掺杂。其对生产作用是省去掺杂的旋涂玻璃、在一些应用中省去离子植入、省去ampoule中锌掺杂。
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旋涂掺杂材料
| 旋涂掺杂材料 | |
| 涂层材料 BDC1-2000 PDC1-2000 ZDPC2-2000 |
类型 硼掺杂材料 磷掺杂材料 锌掺杂材料 |
应用
- 旋涂掺硼 [a-Si, c-Si应用]
- 旋涂掺磷[a-Si, c-Si应用]
- 旋涂掺锌[III/V族衬底]
特性
- 利用氧等离子体实现透明薄膜的固态掺杂
对生产效率的影响
- 省去了玻璃旋涂掺杂
- 在一些应用中省去了离子注入
- 省去了锌掺杂
