正性光刻胶
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正性光刻胶
品牌：futurrex
正性光刻胶分为粘性增强正性光刻胶。粘度增强正胶的应用是湿刻、反应离子束刻蚀、离子植入、电镀。
| 正性光刻胶 | |
| 光刻胶型号 PR1-1000A PR1-2000A PR1-4000A PR1-12000A |
厚度 0.7μm - 2.1μm 1.4μm - 4.2μm 2.8μm - 15.0μm 11.8μm - 24.5μm |
| 耐温性能< 130°C | |
应用
- 正性光刻胶的粘附性良好，可用于干法刻蚀/湿法刻蚀/电镀/离子注入.
正性光刻胶PR1-4000A的典型侧壁轮廓
厚度 = 10μm
| 正性光刻胶用显影液（用于正性光刻胶的水性显影液）: | |
| 常用光刻胶 | |
| 厚度范围: | 0.7 - 3 微米 |
| 性能: |
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| 应用 : |
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| 厚膜光刻胶 | |
| 厚度范围: | 3 - 25 微米 |
| 性能: |
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| 应用: |
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